Observations of Defects in Silicon Single Crystals

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概要

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• 社団法人応用物理学会の論文
• 1966-10-15

著者

• ABE Takao

  Semiconductor Research Lab., Shin-etsu Handotai Co., LTD.

• Maruyama Shigeru

  Semiconductor Division Shin-etsu Chem. Ind. Co. Ltd.

• Abe Takao

  Semiconductor Division Shin-etsu Chem. Ind. Co. Ltd.

関連論文

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