Properties of Vapor Deposited Silicon Nitride Films with Varying Excess Si Content

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概要

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• 1973-05-05

著者

• Kobayashi Keizo

  I.c. Division Nippon Electric Company Ltd.

• TANABASHI Kyoji

  I.C. Division, Nippon Electric Company, Ltd.

• Tanabashi Kyoji

  I.c. Division Nippon Electric Company Ltd.

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