2.プラズマの作り方 : 2.2高周波放電を用いる方法(<講座>プラズマ実験入門II)

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概要

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• A merit to use r,f. grow discharges for plasma production is described as a guidance for a newcomer. Fundamental processes of r.f, grow discharges are explained in comparison with those of d.c. grow discharges.

• 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
• 1993-06-25

著者

• 林 洋司

  中部大学工学部

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