2.プラズマ生成の基礎 : 2.2直流放電によるプラズマ生成(<講座>プラズマ生成3)

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概要

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• The DC discharge is one of the most well studied gas discharges and widely applied to the plasma devices. In this article, we describe the basic characteristics of DC discharge, such as DC breakdown and sustaining discharge in the glow and the arc modes. We also discuss the efficient plasma production due to trapping of energetic electrons at relatievely low pressure.

• 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
• 1993-03-25

著者

• 真瀬 寛

  茨城大学工学部電気電子工学科

• 真瀬 寛

  茨城大学工学部

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