クリーンルームにおける有機物質のシリコンウェハ表面への吸着機構に関する研究(環境工学)(学位論文要旨)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 社団法人日本建築学会の論文
• 1999-10-20

著者

• 鍵 直樹

  日本学術振興会

関連論文

• 41472 窒素酸化物除去効果の評価 : 植物による大気汚染物質除去効果 その4(大気汚染,環境工学II)
• 41471 二酸化炭素除去効果の季節変動 : 植物による大気汚染物質除去効果 その3(大気汚染,環境工学II)
• 351 植物による二酸化炭素と窒素酸化物の除去効果に関する基礎的研究(環境工学)
• 41431 CO_2,NOx 除去効果の実験 : 植物による大気汚染物質除去効果 その2
• 41430 チャンバー性能の評価 : 植物による大気汚染物質除去効果 その1
• 41467 真菌由来の揮発性有機化合物による空気調和機汚染に関する研究 : その1 空調システムの微生物汚染と真菌由来の揮発性有機化合物(ダニアレルゲン(2),環境工学II)
• 住宅におけるガス状・粒子状物質の測定
• 41425 Siウェハ表面におけるDOP濃度の予測 : 有機物質のクリーンルーム中からSiウェハ表面への吸着 その2
• 41424 ガス状汚染物質の沈着過程 : 有機物質のクリーンルーム中からSiウェハ表面への吸着 その1
• 揮発性有機化合物の材料内部濃度分布測定による発生機構の検討
• 41415 表面吸着水量と二重指数関数モデルの各パラメーターとの関係 : 建材から発生する有機ガスの湿度影響 その2(温湿度と放散特性,環境工学II)
• 41414 建材の水分量と発生ガス挙動の関係 : 建材から発生する有機ガスの湿度影響 その1(温湿度と放散特性,環境工学II)
• 41413 揮発性有機化合物の建材表面での吸脱着特性の検討(温湿度と放散特性,環境工学II)
• 41393 建材内部濃度の測定と発生ガスフラックスの推定 : 建材内部の挙動からみた揮発性有機化合物の発生特性 その2(チャンバーによる放散量解析,環境工学II)
• 41392 発生ガスフラックスの測定と内部濃度測定方法の検討 : 建材内部の挙動からみた揮発性有機化合物の発生特性 その1(チャンバーによる放散量解析,環境工学II)
• 41391 室内内装材から発生する有機化合物測定に対するチャンバー法の評価(チャンバーによる放散量解析,環境工学II)
• クリーンルーム構成材料の有機化合物発生量と気中濃度の予測に関する検討
• クリーンルームにおける有機物質のシリコンウェハ表面への吸着機構に関する研究(環境工学)(学位論文要旨)
• 環境温度を考慮に入れた発生ガスフラックスのモデル化 : 建材における揮発性有機化合物の発生機構
• 41419 環境温度を考慮に入れたVOCの発生特性のモデル化
• 41392 クリーンルーム構成材における発生ガスフラックス減衰傾向と気中濃度予測に関する基礎的研究
• ガス状物質のクリーンルーム空気中からシリコンウェハ表面への吸着に関する理論的考察

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク