5-4 ラテラルMIM素子により駆動される250×240画素の液晶ディスプレイ(5.液晶ディスプレイ)(JAPAN DISPLAY'83記念特集)
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概要
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ラテラルMIMは, Ta薄膜の側面に形成された薄い酸化膜をMIMの絶縁膜として使う.ラテラル構造とすることで微細パターニング技術を用いないでMIMの面積を小さくでき, 高解像度の大形LCDを作ることが可能となる.画素数250×240,解像度25本/cmで1/500デューティー比でもスタティック駆動なみの高コントラストを示すLCDを開発した.
- 1984-04-20
著者
-
両角 伸治
セイコーエプソン株式会社tft技術研究室
-
小野 陽一
エプソン株式会社LD開発部
-
中澤 尊史
エプソン株式会社LD開発部
-
小原 浩志
エプソン株式会社LD開発部
-
両角 伸治
株式会社諏訪精工舎
-
太田 直
株式会社諏訪精工舎
-
荒木 亮輔
株式会社諏訪精工舎
-
曽根原 富雄
株式会社諏訪精工舎
-
久保田 兼充
エプソン株式会社
-
荒木 亮輔
諏訪精工舎
-
曽根 原富雄
諏訪精工舎
-
小原 浩志
エプソン
-
太田 直
セイコーエプソン株式会社
-
曽根原 富雄
セイコーエプソン
-
小野 陽一
エプソン
-
中澤 尊史
エプソン
-
久保田 兼光
エプソン
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