9インチMIM液晶ディスプレイ(<論文特集> 平面型ディスプレイ技術)
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概要
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ラテラルMIM素子を用いた高コントラスト比を持つ大面積LCDを開発した.このラテラルMIM素子は一方の金属電極がCr/ITOの2層構造を持ち, Crの厚さは5nm以下で, 20nm厚のITO膜を連続形成してある.この2層膜を同時にパターニングすることで, 製造プロセスは2回のパターニングしか必要とせず, すべてのアクティブマトリックスLCDの中で最も簡単である.ただし, Crの膜厚を非常に薄くすることでMIM素子の特性が変化しないようTaのテーパ角度は注意深くコントロールされている.対角線9インチ, 画素数400×640ドット, 画素ピッチ0.3×0.3mm, 画素部分の透過率が85%以上のラテラルMIM-LCDを得た.
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1986-10-20
著者
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