一〓〓估LCD用SiO_2膜〓性能的新方法

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概要

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• SiO_2 films on glass substrate are widely applied in Liquid Crystal Device (LCD) manufacturing. Based upon the P-etch measurement, the density and the thickness of the SiO_2 films can be measured. The authors propose a simple and fast way to evaluate the performance of SiO_2 coatings for industrial usage.

• 一般社団法人映像情報メディア学会の論文
• 1997-02-14

著者

• Xiaowei Zhao

  Shenzhen Leybold Vactech Co. Ltd.

• Andong Tang

  Shenzhen Leybold Vactech Co., Ltd.

• Luping Shang

  Shenzhen Leybold Vactech Co., Ltd.

• Shimin Wang

  Shenzhen Leybold Vactech Co., Ltd.

• 王 士敏

  Shenzhen Leybold Vactech Co. Ltd.

• Shimin Wang

  Shenzhen Leybold Vactech Co. Ltd.

• Luping Shang

  Shenzhen Leybold Vactech Co. Ltd.

• 〓 安〓

  Shenzhen Leybold Vactech Co., Ltd.

• 商 〓平

  Shenzhen Leybold Vactech Co., Ltd.

• 〓 小〓

  Shenzhen Leybold Vactech Co., Ltd.

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