一種評估LCD用SiO_2膜層性能的新方法

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概要

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• SiO 2 filins on glass substrate are widely app1ied in Liquid Crystal Device (LCD) mannufacturhig. Based upon the P-etch measurement, the density and the thickness of the SiO_2 films can be measured. The authors propose a simp1e and fast way to evaluate the performance of Si(b coatings for industrial usage.

• 一般社団法人電子情報通信学会の論文
• 1997-02-14

著者

• Zhao Xiaowei

  Shenzhen Leybold Vactech Co. Ltd.

• 王 士敏

  Shenzhen Leybold Vactech Co. Ltd.

• Shang Luping

  Shenzhen Leybold Vactech Co. Ltd.

• Tang Andong

  Shenzhen Leybold Vactech Co. Ltd.

• Wang Shimin.

  Shenzhen Leybold Vactech Co.,Ltd.

• 湯 安東

  Shenzhen Leybold Vactech Co.,Ltd.

• 商 陸平

  Shenzhen Leybold Vactech Co.,Ltd.

• 趙 小偉

  Shenzhen Leybold Vactech Co.,Ltd.

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