薄膜磁気ヘッド形成用イオンミリング装置

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概要

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• 社団法人映像情報メディア学会の論文

著者

• 袴田 好美

  (株)日立製作所 國分工場

• 大野 康則

  日立

• 佐藤 忠

  (株)日立製作所 電力・電機グループ

• 佐藤 忠

  日立

• 大野 康則

  (株)日立製作所

• 黒沢 巴

  日立

• 黒沢 巴

  (株)日立製作所日立研究所

• 袴田 好美

  日立

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