ダイナミックミキシング法による窒化チタン膜の配向性と機械的性質

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 1993-10-20

著者

• 佐藤 忠

  (株)日立製作所 電力・電機グループ

• 佐藤 忠

  (株)日立製作所日立研究所

• 大畠 耕吉

  (株)イオン工学センター

• 大畠 耕吉

  (株)イオン工学センタ-

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