FPD製造関連技術(1995 SID国際シンポジウム報告)
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概要
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1995年SID国際シンポジウムの講演の中からフラットパネル製造関連技術をまとめて報告する。講演件数は生産技術が3件, エッチング・清浄化技術が5件, コーティング技術が4件である.内容は各技術均等であり特別な動向は見られない.ガラス基板の材料, 耐エッチング性, アンダーコートが3件, 製造全体, パターニング法, 欠陥検出が3件, ドライエッチング3件, CFの材料, オーバーコート, BMが3件である.
- 一般社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1995-07-05
著者
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