Krガス・スパッタTb/FeCo周期多層膜の磁気特性 : 光磁気記録関連 : 画像情報記録
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概要
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純Krガスを使ったスパッタ法でTb/FeCoおよびGd/FeCo周期多層膜を作製し、その磁気特性を調べ純Arガスを使ったスパッタ法で作製した腹との比較を行った。Tb/FeCo周期多層膜ではカー回転角、飽和磁化、キュリ温度はほぼ等しく、また、Krスパッタで作製すると保磁力と一軸異方性定数K_Uが 大きくなることが分かった。磁気異方性増大の原因を積層状態、逆磁歪効果、1イオン異方性の観点か ら検討し、1イオン異方性成分が大きくなっていることが分かった。1イオン異方性成分が大きくなった理由として、異方性分散が小さくなり、その結果としてマクロな異方性が大きくなったというモデルを提案した。
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1993-03-28
著者
-
岡田 修
Nec機能エレクトロニクス研究所
-
中田 正文
機能エレクトロニクス研究所
-
中田 正文
Nec機能エレ研
-
軽部 博夫
NEC機能エレクトロニクス研究所
-
松村 邦彦
NEC機能エレクトロニクス研究所
-
岡田 修
Nec
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