バイアスパッタCo/Pd人工格子の垂直磁気異方性 : 光磁気記録関連 : 画像情報記録
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概要
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Co/Pd人工格子を、基板バイアス電圧(V_B)を+20〜-50Vの範囲で印加し、rfマグネトロンスパッタ法によりガラス基板上に作成した。Arガス圧力(P_<Ar>)が40mTorrのとき、負バイアス電圧(V_B)印加によって膜面面内方向への圧縮応力が生じ、積層界面に形成されたCoPd合金の磁歪効果により界面異方性エネルギー(K_S)が減少した。V_B=OV、P_<Ar>=5mTorrの膜は界面の平坦性が向上し、Neel表面異方性の効果によってK_Sが増加した
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1993-03-28
著者
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