エレクトロニクス用感光性耐熱ポリマー(感光性フィルムの新規応用と今後の展望・一般)
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概要
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エレクトロニクス感光性耐熱ポリマーとして、感光性ポリイミド(PSPI)、感光性ポリベンズオキサゾール(PSPBO)を取り上げ、最近の進歩について紹介する。すなわち、PSPIでは架橋剤・光酸発生剤や光塩基発生剤との組み合わせによる新規なアルカリ現像可能なネガ型PSPI、および低温イミド化、PSPBOでは、i線領域で透明なポリ(アミドフェノール)(PHA)の分子設計法と化学増幅系を用いたネガ型PSPBOの開発、PHAからPBOへの低温環化用触媒、さらには簡便な高感度PSBOの形成法および低温環化について述べる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-10-21
著者
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