レイアウトCAD上でのサブストレートカップリングシミュレーション

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概要

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レイアウトCAD上でサブストレートカップリングのシミュレーションを実行する方法を提案する。サブストレート部分の抵抗網モデルに対して、簡略化手法を加え解析の効率化を図った。レイアウトCADに備わる抽出機能を利用して抵抗網を抽出するためのフローを考案した。テストチップを作成し、レイアウトパターンの違いのサブストレートカップリングへの影響を実験的に調べた。テストチップの測定結果とシミュレーション結果とを比較し、このシミュレーション方法の有効性を確認した。
社団法人電子情報通信学会の論文
2002-08-16

著者

木村智寿
(株)東芝研究開発センターモバイル通信ラボラトリー

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