サブストレートカップリングウのシミュレーション方法の検討

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概要

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レイアウトデータからサブストレート抵抗網モデルを抽出し、回路シミュレータを用いてサブストレートカップリングの解析を実行する簡便な方法を確立した。テストチップを作成し、レイアウトパターンの違いのサブストレートカップリングへの影響を実験的に調べた。テストチップの測定結果とシミュレーション結果とを比較し、このシミュレーション方法の有効性を確認した。
社団法人電子情報通信学会の論文
2001-09-20

著者

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