フォトマスク欠陥分類方法TRICORNの開発

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概要

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• フォトマスクの欠陥検査はセンサ画像と設計データの比較により行われている。しかし、欠陥分類はオペレータの目視に頼っており、客観性に乏しく時間を要する作業となっている。そこで我々は自動的に欠陥を分類するTRICORN(Transmitted and Reflected Image Classification system for Optical ReviewiNg)を開発し実験で効果を確認した。今回は空間微分を利用した異物検出アルゴリズムを提案する。

• 1995-09-05

著者

• 松木 一人

  株式会社東芝研究開発センターLSI基板技術ラボラトリー

• 明野 公信

  株式会社東芝研究開発センターLSI基板技術ラボラトリー

• 山下 恭司

  東芝研究開発センター

• 松木 一人

  東芝研究開発センター

• 明野 公信

  東芝研究開発センター

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