A-11-3 エピタキシャルPZT/Siを用いた薄膜バルク共振子

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概要

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• 2000-09-07

著者

• 矢野 義彦

  Tdk株式会社

• 野口 隆男

  Tdk株式会社

• 斉藤 久俊

  TDK株式会社

• 阿部 秀典

  TDK株式会社

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