A-11-8 エピタキシャルPZT/中間層/Siを用いた薄膜バルク振動子

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 2001-08-29

著者

• 矢野 義彦

  Tdk株式会社

• 野口 隆男

  Tdk株式会社

• 斉藤 久俊

  TDK株式会社

• 阿部 秀典

  TDK株式会社

関連論文

• A-11-8 エピタキシャルPZT/中間層/Siを用いた薄膜バルク振動子
• A-11-3 エピタキシャルPZT/Siを用いた薄膜バルク共振子

スポンサーリンク