C-8-7 対向ターゲット式スパッタ(FTS)によるジョセフソン接合用SiO_2絶縁膜の作製

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概要

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• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2000-09-07

著者

• 諸橋 信一

  山口大学工学部機能材料工学科

• 諸橋 信一

  山口大学工学部

• 樋口 徹

  山口大学工学部

• 川西 正徳

  山口大学工学部

• 松尾 充倫

  山口大学工学部

• 原田 啓太

  山口大学工学部

• 辻村 昇吾

  山口大学工学部

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