周期構造弾性表面波導波路のハイブリッド有限要素法に基づく一解析法
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概要
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近年、漏洩弾性表面波(LSAW:Leaky SAW)基板を用いたSAMデバイスが盛んに検討されており、周期構造LSAW導波路の高精度な解析法の開発が望まれている。電極の弾性的摂動も考慮可能な解析法として、これまでに、周期グリーン関数を用いた積分方程式法あるいは離散化グリーン関数法が提案されている。一方、著者らは、レーリ一波を対象として有限要素法(FEM)に基づく解析法を提案してきた。この方法は、任意の圧電基板上の任意形状の電極を取り扱うことができるが、計算が一般に大規模になり、また、エネルギー放射を伴うLSAW基板には適用できない。本稿では、周期構造SAW導波路の解析法として、ハイブリッド有限要素法(HFEM)に基づく解析法を提案している。通常の要素で電極部分を分割し、解析的関係式を利用した特殊な有限要素1個で基板全体を取扱うので、これまでよりも大幅にFEM行列の次元数を低減できる。また、LSAWの解析が可能となることが期待できる。具体的に、STカットX伝搬水晶基板レーリー波用グレーティングの解析を行い、本手法の妥当性を示している。
- 1995-09-05
著者
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