高誘電率基板を用いた平面回路型60GHz誘電体共振器
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概要
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移動体通信システムは、使用周波数帯域の不足を補うために、またマルチメディア化に対応するために、ミリ波帯での実用化研究が進められている。これらのシステムに使用されるミリ波帯フィルタは、サブミクロンクラスの加工精度が要求される。この要求を満足させるためには、マイクロストリップ線路等の平面回路型共振器をフォトリソグラフィに代表される薄膜徴細加工技術を用いて作製する手法が考えられるが、無負荷Qが低く実用的とは言えない。今回は、薄膜微細加工技術が利用可能でかつQの高い平面回路型共振器を提案、ミリ波帯でその動作を確認し良好な結果が得られたので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-09-05
著者
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平塚 敏朗
株式会社村田製作所
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平塚 敏朗
株式会社 村田製作所
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石川 容平
株式会社 村田製作所
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飯尾 憲一
株式会社村田製作所
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平塚 敏朗
村田製作所
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山下 貞夫
株式会社村田製作所
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山下 貞夫
株式会社 村田製作所
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飯尾 憲一
株式会社 村田製作所
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