シリコン・シリコン酸化物界面の観察(2) : シリコン基板のRaman散乱

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概要

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第1報に続いてシリコンとシリコン酸化層の界面を、シリコン側からの情報により検討する。シリコンはラマン散乱において強いシグナルを示す。しかし、シリコン酸化物は透明である。よって、第1報の結果としてシリコン酸化物に「圧縮性ストレス」がかかるとするなら、シリコン基板には逆に「膨張性のストレス」が作用する。ラマン散乱からの情報はこのことを検討するのに適する。そこで、本報は第1報と同一試料を使い、上記の予測を実験的に確証した。
社団法人電子情報通信学会の論文
1994-09-26

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