ULSIデバイス解析評価技術の現状と今後 : LSIの将来の生命線を握る解析技術(LSIシステムの実装・モジュール化・インタフェース技術, テスト実装, 一般)

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概要

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• ULSIデバイスの解析評価技術現状をいくつかの事例をあげて解説するとともに、今後デバイスの進展に伴う解析評価技術の課題について展望する。

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2005-01-20

著者

• 益子 洋治

  株式会社ルネサステクノロジウエハプロセス技術統括部解析技術開発部

• 益子 洋治

  株式会社ルネサステクノロジ 生産本部

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