バイアススパッタ法で作製された3D周期ナノ構造の形成機構
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概要
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Si/SiO_2系3D周期ナノ構造をバイアススパッタ法で形成する際に重要となる自己整形メカニズムが, 角度広がりのある粒子による堆積, 角度依存性のあるスパッタエッチング, 2次粒子による堆積の三つの効果の重ね合せであることを, 2D堆積シミュレーションと実験結果の比較により実証した.
- 1998-02-25
論文 | ランダム
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