Fe添加による(Ba,Sr)TiO_3膜薄膜化に伴う誘電率低下の抑制効果(プロセスクリーン化と新プロセス技術)
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概要
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次世代高誘電キャパシタ用誘電体膜として、(Ba,Sr)TiO_3膜はきわめて魅力的な材料であるが、薄膜化とともに誘電率の著しい低下が生じる問題がある。すなわち、(Ba,Sr)TiO_3膜の薄膜化を進めても、期待通りにキャパシタ容量を向上させることが出来ないといった深刻な問題が生じる。これに対し(Ba,Sr)TiO_3膜中にFeを添加することによって、誘電率の低下を抑制できることを見出した。結果として、薄膜(Ba,Sr)TiO_3膜においても十分大きな誘電率を得ることが可能となった。さらに、電子線定在波を用いTEM/EDXを応用することによって、Feイオンの結晶中の置換サイトの同定を行い、それに基づいて誘電率低下の抑制のメカニズムについて論じる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-10-08