UV レーザ(CW)の長期信頼性 : β-BaB_2O_4(BBO)を用いた外部共振器型第二高調波発生(SHG)UVレーザ

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概要

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• 長期的に安定な全固体連続発振UVレーザは産業界から強く熱望されている。我々は非線形光学結晶β-BaB_2O_4(BBO)を用いた外部共振器型SHG UVレーザにおいて、266nmの紫外光100mW1000時間以上の信頼性を確認した。これは、主要素子であるBBO波長変換デバイスの作製プロセスである育成・研磨・成膜の各工程を確立することにより達成できた。育成工程では、フラックス法に比べて散乱および吸収の少ないチョクラルスキー法を採用した。研磨工程では、BBOが潮解性であるため、ウォークフリー鏡面加工を行った。成膜工程では、緻密で強固なイオンプレーティング法で反射防止膜を施した。現在、更に高信頼性のUVレーザの開発を行っている。

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 1997-10-14

著者

• 近藤 憲治

  北海道大学電子科学研究所量子機能素子研究分野

• 久保田 重夫

  ソニー(株)コアテクノロジー&ネットワークカンパニー

• 和田 裕之

  ソニー(株) 中央研究所 久保田研究室

• 福井 達雄

  ソニー(株) 中央研究所 久保田研究室

• 梅津 暢彦

  ソニー(株) 中央研究所 久保田研究室

• 近藤 憲治

  ソニー(株) 中央研究所 久保田研究室

• 岡本 勉

  ソニー(株) 中央研究所 久保田研究室

• 岡 美智雄

  ソニー(株) 中央研究所 久保田研究室

• 田附 幸一

  ソニー(株) 中央研究所 久保田研究室

• 和田 裕之

  ソニー(株)中央研究所 久保田研究室

• 梅津 暢彦

  ソニー(株)中央研究所 久保田研究室

• 福井 達雄

  ソニー(株)中央研究所 久保田研究室

• 岡本 勉

  ソニー(株)中央研究所 久保田研究室

• 岡 美智雄

  ソニー(株)コアテクノロジー&ネットワークカンパニー

• 田附 幸一

  ソニー(株)中央研究所 久保田研究室

• 岡本 勉

  ソニー(株)

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