ファイバ端EOセンサヘッドの提案
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概要
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LSTやMMICといった電子デバイスの発達にともないデバイス内部の計測技術への重要性が高まっている.今回,MMICを測定対象とし,電気光学効果とファイバ光学系をベースとした電界計測システムを試作した。電気光学結晶はファイバ端に直接接続されており被測定デバイス上を自由に移動することができる。さらに,CW光源と高速PDを組み合わせて用いることによりデバイスのスペクトル解析を可能としている。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-06-24
著者
-
五十嵐 浩司
東京大学大学院工学系研究科電気系工学専攻
-
五十嵐 浩司
東京大学
-
大原 拓也
東京大学大学院工学系研究科電子工学専攻
-
並木 亮介
東京大学大学院工学系研究科電子工学専攻
-
若菜 伸一
東京大学大学院工学系研究科電子工学専攻
-
土屋 昌弘
東京大学大学院工学系研究科電子工学専攻
-
若菜 伸一
東京大学
-
五十嵐 浩司
東京大学大学院工学系研究科
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