複製法によるポリマー光導波路の作製
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概要
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急速に発展した情報技術のブロードバンド化により,光ネットワークは今後さらに重要さを増しつつある。光ネットワーク社会を実現するには,光を末端まで普及させる光分岐回路, 光合分波回路などの新たな光デバイスの低コストが必要である。我々は光ネットワーク実現に向け,ポリマーを導波路材料にした金型(スタンパ)を用いた複製法によって低コストなシングルモード光導波路の作製を実現した。上記の製法で作製した光デバイスをSPICA(Stacked Polymer optical IC/Advanced)とよび,本稿でこの作製法および諸特性について報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-10-04
著者
-
細川 速美
オムロン(株) 技術本部 先端デバイス研究所
-
細川 速美
オムロン株式会社 技術本部 先端デバイス研究所
-
樋口 誠良
オムロン株式会社技術本部先端デバイス研究所
-
高橋 敏幸
オムロン(株)中央研究所
-
高橋 敏幸
オムロン株式会社中央研究所
-
安田 成留
オムロン株式会社中央研究所
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