複製法によるポリマー光導波路の作製

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概要

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• 急速に発展した情報技術のブロードバンド化により,光ネットワークは今後さらに重要さを増しつつある。光ネットワーク社会を実現するには,光を末端まで普及させる光分岐回路,光合分波回路などの新たな光デバイスの低コストが必要である。我々は光ネットワーク実現に向け,ポリマーを導波路材料にした金型(スタンパ)を用いた複製法によって低コストなシングルモード光導波路の作製を実現した。上記の製法で作製した光デバイスをSPICA(Stacked Polymer optical IC/Advanced)とよび,本稿でこの作製法および諸特性について報告する。

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2002-10-04

著者

• 細川 速美

  オムロン(株) 技術本部 先端デバイス研究所

• 細川 速美

  オムロン株式会社 技術本部 先端デバイス研究所

• 樋口 誠良

  オムロン株式会社技術本部先端デバイス研究所

• 高橋 敏幸

  オムロン(株)中央研究所

• 高橋 敏幸

  オムロン株式会社中央研究所

• 安田 成留

  オムロン株式会社中央研究所

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