第21回故障解析シンポジウム(ISTFA'95)参加報告
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概要
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1995年11月米国カリフォルニア州サンタクララ市で開かれた第21回故障解析シンポジウム(ISTFA'95/21st International Symposium for Testing and Failure Analysis)で発表された論文の概要を紹介し, 最近の電子デバイスの故障解析の動向を知る一助としたい. LSIは機能の複雑化, 大規模化, 微細化が著しく進み, 製造工程や使用環境からの影響を受けやすくなり, 故障の検出や解析に複雑な手法が必要になっている. 本シンポジウムでは新しい解析手法, 解析装置の他, 事例報告も多く実際の担当者には有益なものであった.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-03-15