ピエゾ抵抗カンチレバーアレイを用いたAFM像観察
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概要
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我々は新規な方法[1, 2]で作製した金属探針が搭載された10本のピエゾ抵抗カンチレバーよりなるAFM用カンチレバーアレイを開発した。チップの大きさは2×3mm、カンチレバーの長さは200と300μm、間隔は100μmである。このカンチレバーアレイ内の探針先端のZ方向位置ばらつきを測定した結果、±0.3μm以内であった。このカンチレバーアレイを用いたAFMによる同時像観察も行った。カンチレバーのアレイ化により高い転送レートを必要とする情報記録などの新しい応用に用いることができる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-10-23
著者
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島田 康弘
キヤノン(株)中央研究所
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松田 宏
キヤノン(株)中央研究所PLDプロジェクト
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松田 宏
キャノン(株)中央研究所PLDプロジェクト
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八木 隆行
キヤノン(株)中央研究所
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瀧本 清
キヤノン(株)中央研究所
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瀧本 清
キャノン(株)中央研究所
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松田 宏
キャノン株式会社中央研究所
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山崎 剛生
キヤノン(株)中央研究所
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紫藤 俊一
キヤノン(株)中央研究所
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