[招待論文]インクジェット印刷法によるポリマーTFTの作製(有機ELとTFT(シリコン,化合物,有機)及びディスプレイ技術)
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概要
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ポリマーTFT (Thin Film Transistor)を大気中・全溶液プロセスによって作製した。ソース・ドレイン・ゲート電極のパタニングは、インクジェットヘッドを用いて導電性ポリマーpoly (ethylenedioxythiophene) (PEDOT)を印刷することによって、半導体、絶縁体層はポリマー溶液をスピンコートすることによって得た。インクジェット印刷の解像度では20ミクロン以下のチャンネル長のパターニングは困難であるが、フォトリソグラフィによって形成した撥水性のパターンに沿って導電性ポリマーの水分散液を印刷することによって、5ミクロン以下のチャンネル長を得ることができた。単体のTFTだけでなく、インバータ、アクティブマトリックス表示素子なども作製して動作を確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-04-08
著者
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