[招待論文]インクジェット印刷法によるポリマーTFTの作製(有機ELとTFT(シリコン、化合物、有機)及びディスプレイ技術)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
ポリマーTFT (Thin Film Transistor)を大気中・全溶液プロセスによって作製した。ソース・ドレイン・ゲート電極のバタニングは、インクジェットヘッドを用いて導電性ポリマーpoly(ethylenedioxythiophene)(PEDOT)を印刷することによって、半導体、絶縁体層はポリマー溶液をスピンコートすることによって得た。インクジェット印刷の解像度では20ミクロン以下のチャンネル長のパターニングは困難であるが、フォトリソグラフィによって形成した撥水性のパターンに沿って導電性ポリマーの水分散液を印刷することによって、5ミクロン以下のチャンネル長を得ることができた。単体のTFTだけでなく、インバータ、アクティブマトリックス表示素子なども作製して動作を確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-04-08
著者
関連論文
- 21aRJ-4 アクセプター分子薄膜/ルブレン単結晶電界効果トランジスタのホール効果(有機FET1,領域7,分子性固体・有機導体)
- 21aRJ-6 高移動度有機単結晶トランジスタのホール効果(有機FET1,領域7,分子性固体・有機導体)
- 21aRJ-5 単分子膜付きルブレン単結晶電界効果トランジスタのホール効果(有機FET1,領域7,分子性固体・有機導体)
- インクジェット印刷法による有機TFTの作製
- フッ素系GI-POFを用いた光通信用VCSELモジュール
- TbFeCo/極薄DyFeCo構造における磁界感度特性 (磁気光学・光磁気記録)
- TbFeCo/極薄DyFeCo構造における磁界感度特性
- ポリカーボネート基板における光磁気媒体ノイズの検討
- ポリカーボネート基板における光磁気媒体ノイズ
- PC基板における光磁気媒体ノイズの検討
- [招待論文]インクジェット印刷法によるポリマーTFTの作製(有機ELとTFT(シリコン、化合物、有機)及びディスプレイ技術)
- [招待論文]インクジェット印刷法によるポリマーTFTの作製(有機ELとTFT(シリコン,化合物,有機)及びディスプレイ技術)
- [招待論文]インクジェット印刷法によるポリマーTFTの作製(有機ELとTFT(シリコン、化合物、有機)及びディスプレイ技術)
- インクジェット印刷法によるポリマー薄膜トランジスタの作製 (特集 有機FETの新展開)