産業用マイクロフォーカスCT技術と高密度実装半導体への応用
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概要
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マイクロフォーカスX線CT装置は、半導体関連業界において、品質管理ツールとして、確固たるポジションを築きつつある。特に高密度実装の進展により、CT3次元データの重要性が高まっている。本論文では、従来のCT装置より高分解能で処理能力を飛躍的に向上させた最新のCT技術成果について示す。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-05-09
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