有機TFT駆動液晶表示素子のフレキシブル基板上への試作(発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会)

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概要

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有機TFT駆動ポリマー分散液晶(PDLC)表示素子をプラスチック基板上に試作した。TFTのゲートリーク電流低減・高耐圧化を図るため、ゲート絶縁膜をTa_2O_5と高分子材料ポリビニフェノールのスタック構造にすることを提案した。作製したTFTは、ドレイン電圧5V以下で良好な電流飽和特性を示し、移動度0.4[cm^2/V・s]、電流ON/OFF比10^5が得られた。また、リーク電流を低減させることで、従来の低電圧飽和特性に加えゲート耐圧を15V程度まで向上させることができた。また、TFTの湾曲特性を評価したところ、曲率半径20mm以内であれば動作することが明らかになった。表示素子作製においては、開発した2層のパッシベーション膜を用い、液晶によるTFTの特性劣化を抑えた。試作した表示素子において、データ電圧10V、ゲート電圧13VでPDLCの透過率を変調でき、10 : 1のコントラストを得た。
2005-01-20

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