ITO基板の表面処理と表面状態の検討(発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会)
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概要
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ITO基板表面の湿式ならびに乾式処理を行い、処理効果についてエッチング速度、平坦性、組成、表面汚染、エネルギー状態に関する評価を行った。その結果、表面の微視的粗さ、表面付近におけるIn,Sn,Oの組成の変化や汚染炭素量についての知見を得ることができた。また表面付近における電子のエネルギー分布の変化についての情報を得ることができた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-01-17
著者
-
草野 浩幸
鳥取県産業技術センター
-
田中 陽助
鳥取大学工学部電気電子工学科
-
北川 雅彦
国立大学法人鳥取大学
-
芳原 啓喜
鳥取県産業技術センター
-
田中 翠子
鳥取県産業技術センター
-
稲葉 春樹
鳥取県産業技術センター
-
田中 翠子
鳥取大学工学部電気電子工学科
-
芳原 啓喜
鳥取大学工学部電気電子工学科
-
北川 雅彦
鳥取大学工学部電気電子工学科
-
中村 卓誉
鳥取大学工学部
-
稲葉 春樹
鳥取大学工学部
-
中村 卓誉
鳥取大学工学部電気電子工学科
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