Sr_<1-x>Na_xCuO_2無限層薄膜のスパッタ合成
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概要
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無限層構造物質は、アルカリ土類金属層と2次元的なCuO_2層が交互に積み重なった単純な構造を持っている。このように極めて単純な構造を有する系において、Azumaらは(Ca,Sr)-CuO系の高圧合成による物質が100K級の高いTcを持つことを明らかにした。我々は、この無限層膜のRFスパッタ合成を試みる目的で、基板回転式交互スパッタ法を導入し、Srの一部をNaに置換したSr_<1-x>Na_xCuO_2膜を作製したので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-03-11