TEM試料作製用前処理装置「マイクロサンプリング装置」 : イオンビームを用いて微小領域, TEM試料の抽出を実現, 試料作製時間も約3割短縮
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-07-25
社団法人電子情報通信学会 | 論文
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