確率的フラクタル変数による複雑な形状をもつ物体の同定 : LSIウェーハ上の異物の分類
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概要
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LSIウェーハ製造の歩留りや安定性を向上させるためには,製造プロセスの工程から混入する異物を減少させることが不可欠であり,そのためには,異物の識別方法を確立する必要がある.現在のところLSIウェーハ検査は,人間の目による原始的な方法のみが有用であるが,それは複雑な形状をもつ異物を判別するコンピュータアルゴリズムを作成するための異物の数理モデルが作成されていないことに起因している.本研究では,複雑な形状をもつ異物の数理モデルをフラクタル次元のアイデアをもとに「確率的フラクタル変数」を定義することにより作成し,異物の同定を行う手法をゆう度法により確立する.更に,実データによる検証も行い,ここで提案する手法の有用性を検証する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-06-25
著者
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