確率的局所フラクタル変数による複雑な形状をもつ物体の同定 : LSIウェーハ上の異物のカテゴリー分類

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概要

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自然界の物体や現象をフラクタル次元で数理的にモデル化する場合,自然界の物体や現象は完全な自己相似性を有していないことが多い.フラクタル理論においては,フラクタル次元は,被覆するスケールの大きさに関係なく,確定的な値(次元)として定義されている.しかし,実際には,同じ種類の物体や現象においても,使用するサンプルにより次元が変動する場合が多く,更にスケールの大きさによっても次元が変動するのである.これまでの画像解析などにフラクタル次元を用いた研究では,この矛盾を無視し,フラクタル次元を確定的で,かつスケールに全く依存しない値として取り扱ってきた.本論文では,フラクタル理論が自然界の物体や現象に対して矛盾なく取り扱えるようにするために"確率的局所フラクタル変数"を定義する.この新しい変数によって,LSIウェーハ上に付着する異物の数理モデルを作成し,ゆう度法によって異物の同定を行い,本論文で提案する同定手法の有用性を検証する.
社団法人電子情報通信学会の論文
1995-02-25

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