Al/InP/InGaAs近赤外光電子増倍管
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概要
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フォトリソグラフィーを用いて作製されたメッシュ状のAlショットキ電極と、InP, InGaAsヘテロ構造を用いて、波長1.7μmまで感度を有する遷移電子型光電面を開発した。この光電面を組み込んだ近赤外光電子増倍管を初めて試作し、波長0.3〜1.7μmの範囲に感度を有する、高速、高感度な光検出器が実現された。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-12-16
著者
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新垣 実
浜松ホトニクス株式会社 中央研究所
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鈴木 智子
浜松ホトニクス(株)中央研究所
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廣畑 徹
浜松ホトニクス
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山田 正美
浜松ホトニクス
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新垣 実
浜松ホトニクス 中研
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廣畑 徹
浜松ホトニクス(株)中央研究所
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