交流薄膜電子放射素子
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概要
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交流薄膜電子放射素子を提案し、既に、硫化物結晶薄膜を電子加速層に用いた素子で電子放射の動作を確認・報告してきた。本報告では、ZnSe,ポリイミドLB膜,酸化物の薄膜を電子加速層に用いた二層構造(M, D/I/M)の素子を作製し、加速層内の移動電荷量と、真空中への放射電流を測定する。どの物質についても放射が認められることや、移動電荷量と放射電流の電圧や周波数依存性から、放射電子はアバランシェ効果を伴う移動電荷の一部であり、誘電体において、かなり一般的な現象であることを明らかにした。酸化物膜の場合には、他の物質と異なった特性を示し、トラップの関与が考えられる。そこで、Y_2O_3の一層構造(M/D/M)の素子を製作し、電子放射を確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-12-15
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