AuコートSiエミッタの特性評価
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概要
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Auコート(蒸着) Siエミッタの特性について報告する.このSiエミツタは,ゲート絶縁膜にSi熱酸化膜を用いたものである.我々は,化学的なガス吸着を防ぎエミッション電流の安定化を図る目的で,AuコートSiエミッタを作製した.このエミッタにおいてゲート電圧140Vで,アノード電流34μAを得た.更に,エミッション電流の時間変動,F-Nプロット等のエミッション特性及びエミッション発光パターン観察の比較結果がらAu中へのSiの拡散の可能性を確認した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-12-13
著者
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宇田 啓一郎
シャープ(株)
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丸尾 祐二
シャープ(株)機能デバイス研究所
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浦山 雅夫
シャープ(株)機能デバイス研究所
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竹川 宜志
シャープ(株)機能デバイス研究所
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井出 哲也
シャープ(株)機能デバイス研究所
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井上 喜央
シャープ(株)機能デバイス研究所
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徳丸 照高
シャープ(株)機能デバイス研究所
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澤幡 純一
シャープ(株)機能デバイス研究所
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矢野 盛規
シャープ(株)機能デバイス研究所
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宇田 啓一郎
シャープ(株)機能デバイス研究所
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