過渡的増速拡散のシミュレーション
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概要
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過渡的増速拡散について, Si格子間原子クラスターの時間変化を考慮した統一的なシミュレーションを示す. モデルではクラスターに起因する複雑な現象から本質的な要素を抽出し, 物理的意味を持つ4個のパラメータによって, クラスターの時間変化を記述する. このクラスターの時間変化と不純物拡散モデルとを組み合わせ, 過渡的増速拡散のアニール時間, イオン注入種, ドーズ, エネルギー, アニール温度依存性の統一的なシミュレーションを行なう.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-09-25