Si(111)表面初期酸化のSTMによる観察(2)
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概要
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Si(111)表面の初期酸化状態をSTM, STSを用いて観察した。その結果, Siの熱酸化は酸化と生成物の昇華が同時に起こっている事, また酸素に含まれる微量の反応性に富む成分が酸化の速度を決めているらしい事を見い出した。超高真空実験装置を用いて実験を行う時には, イオンポンプがこれらの成分を多く発生している。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-08-06
Si(111)表面の初期酸化状態をSTM, STSを用いて観察した。その結果, Siの熱酸化は酸化と生成物の昇華が同時に起こっている事, また酸素に含まれる微量の反応性に富む成分が酸化の速度を決めているらしい事を見い出した。超高真空実験装置を用いて実験を行う時には, イオンポンプがこれらの成分を多く発生している。