応力/歪み誘起光導波路デバイス設計支援のための 応力/光導波路解析統合ソフトウェア
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概要
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弾性的に任意の異方性を有する光導波路の残留熱応力分布を評価することが可能な応力解析法を新たに提案するとともに, 応力/歪み誘起光導波路デバイス設計支援のための応力解析と光導波路解析とを統合したソフトウェアの開発を行っている. 応力解析と光導波路解析のためのツールとして, いずれも有限要素法を採用しているので, 応力解析の結果得られた屈折率変化を光導波路解析に直接取り込んで, 光波の伝送特性を厳密に評価することができる. 本ソフトウェアの有効性を示すために, SiO_2/GaAs構造歪み誘起光導波路を取り上げ, SiO_2とGaAsの熱膨張係数差によって導波路内に生ずる歪みと屈折率変化の様子を数値的に明らかにし, これらが光波の伝送特性に与える影響について調べた結果を示している.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-08-20
著者
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