可変周波数機能を持つゼロ電圧ソフトスイッチングRFインバータ
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概要
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本論文では、従来から導入されているパワーMOSFETを用いた高周波スイッチング電力増幅器によるプラズマ発生用RF電力供給システムを取り上げ、ZVS動作領域を広げるため周波数を可変としたチェビシェフ形LPFを持つ高周波トランスリンクD級電圧形直列共振インバータによるプラズマ発生用高周波電力変換システムについて述べている。フルブリッジ構成の直列負荷共振回路形高周波インバータを考察の対象とし、高周波トランスとLPF、自動整合器、プラズマ等価負荷からなるトータル回路のシミュレーション動作解析を行い、回路パラメータ負荷変化によるZVS動作領域をスミスチャート上で図説・評価している。さらに本試作実験機の実測データを示し評価・検討を加えている。
- 1999-02-19
著者
-
中岡 睦雄
山口大学工学部
-
石飛 学
山口大学 工学部 電気電子工学科
-
石飛 学
山口大学工学部 電気電子工学科
-
井関 利英
山口大学工学部
-
白川 真也
山口大学工学部電気電子工学科
-
井関 利英
山口大学工学部電気電子工学科
-
白川 真也
山口大学工学部
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