ミリ波マイクロストリップ線路1ポート評価系の開発
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概要
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ミリ波での平面回路は回路自体を半導体プロセスを使って形成し、ウェファプローブを使って評価されることが多い。この方法では評価の精度が期待できる反面、回路をウェファからチップに切り出して実装した後の性能を把握すること困難である。しかしながら、民生分野のミリ波の応用への期待が高まるにつれ、チップを実装した状態での評価技術の確立が必要になってきた。本研究では、半導体プロセスを必要としない低コストな銅張積層板に形成したマイクロストリップ線路とミリ波帯の測定器のポートである導波管の間のアダプタ、そしてマイクロストリップ上の標準器を試作実験しミリ波平面回路の1ポート評価系を構築した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-11-19
著者
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